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深圳大学玻璃旋转清洗及多腔匀胶显影系统意向公开
信息来源: ******[查看]
|地区:广东
|类型:采购公告
基本信息
信息类型:采购公告
区域:广东
源发布时间:2025-04-24
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******大学玻璃旋转清洗及多腔匀胶显影系统意向公开
采购单位: ******大学
项目名称: 玻璃旋转清洗及多腔匀胶显影系统
预算金额(元): 9,280,000.000
采购品目: 电子工业生产设备
采购需求概况: 板级自动旋转式清洗机能够针对大尺寸非圆基板进行清洗,主要对基板表面非有机物颗粒进行清洗去除,达到工艺需求。相比传统基板级清洗设备,该设备能够兼容更大尺寸(515mm×510mm尺寸基板)。多腔全自动匀胶显影机使用于6/8寸晶圆,适配Si、Glass的材质,适应5mm以下翘曲晶圆或超薄晶圆传送和涂胶显影工艺。
预计采购时间: 2025-5
联系人: 党老师
联系电话: ******
备注:
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准
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快照:2025-04-24
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